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茂特斯秉承“质量、效率、创新、融合”的核心价值观和敬业的工匠精神,打造核心竞争力。

MTS-DS-30 转塔式晶圆芯片分选编带机

是我司自主研发、制造的高性能、高稳定性、高产出的系统级转塔式晶圆芯片分选编带机。人工将装有晶圆的wafer cassette放置到机台的上料区(Elevator),机台会自动地完成晶圆的上料,完成晶圆蓝膜的扩膜。通过小转塔(flipper)将芯片吸取并与大转塔上的吸嘴完成对接,随后进行各个工位的检测,将检测合格的芯片放入编带机构进行收料。


设备展示
设备优势
  • 01
    适用于8”和12”晶圆
  • 02
    自动完成晶圆蓝膜张紧
  • 03
    高性能视觉定位系统
  • 04
    高性能视觉检测系统
  • 05
    满足多样的晶圆测试需求
  • 06
    高精度的高速生产模式
基本信息

1. 设备尺寸:1700x1630x2220mm

2. 设备重量:2500KG

3. 主转塔工位数量:24

4. 小转塔工位数量:8

5. 支持芯片尺寸:2x2 ~ 7x7

6. 适用晶圆尺寸:8” & 12”

7. 收料方式:编带

8. 产能:30000

9. 故障率:<1/3000